拡散シリコン圧力センサーのヒステリシス特性に影響を与える要因
マイクロサイバー NCSA-PT105ⅡS プロフィバス DP 圧力トランスミッタ、高度で成熟した信頼性の高いピエゾ抵抗を搭載シリコン圧力センサー 先進のマイクロプロセッサ技術とデジタル静電容量測定技術を組み合わせて綿密に設計されています。マイクロプロセッサの強力な機能と高速計算能力により、スマート、高精度、高信頼性、安定したゼロなどの優れた資格を備えています。液晶 モジュールは物理パラメータ (圧力、温度など) を表示できます。ゼロ調整やレンジ設定などの機能をキー操作で実現でき、フィールドテストも容易です。
NCSA-PT105ⅡS プロフィバス DP 圧力伝送器 圧力、差圧、液面、流量、その他の工業用パラメーターを測定できます。石油、化学、電気、冶金産業などで広く使用できます。
半導体技術の発展に伴い、さまざまなテクニカル指標が普及しました。シリコン圧力センサー&注意;は継続的に改良されてきましたが、拡散シリコン圧力センサー固有の型破りな多値対応ヒステリシスおよび非線形特性により、測定精度が制限されてきました。現在、センサーのヒステリシス特性に関する研究は国内外で比較的少ない。既存の文献は、ニューラル ネットワークを直接使用してモデル化することが不可能であることを証明しています。ほとんどの学者の研究はヒステリシスの非線形性を一般的な非線形性として扱うことであり、その結果は補償を満足させることができません。精度の要件。
拡散シリコン圧力センサーの動作原理は、半導体平面製造プロセスを使用して、シリコン カップの対応する表面に同じ抵抗を持つ 4 つの拡散抵抗を作成し、拡散抵抗を適切に接続してホイートストン ブリッジを形成することです。ダイヤフラムに圧力がかかると、その作用によりダイヤフラムが変形すると、それに応じて電気橋にかかる抵抗が変化し、電気橋が平衡状態を失い、圧力変化に応じた電気信号が得られ、測定の目的となります。圧力が達成されます。半導体材料の抵抗率は、加えられた力に応じて変化します。これがピエゾ抵抗効果です。
1. 原材料
どのような種類の半導体材料であっても、その内部組織構造が複雑であるため、外力による圧力がかかると、小さな粒子間に微小なひずみが発生します。外力がなくなると微小ひずみは消滅しますが、必ずしも元の状態に戻るわけではありません。材料が異なればヒステリシス特性も全く異なります。に
2. 設置条件
表面状態や取り付けトルクなどが最も大きな影響を与えます。また、表面状態、接触面積、取り付けトルク、ボルト強度、座面硬度など、使用現場での圧力センサーの設置条件も指します。これらの影響要因は、センサーのヒステリシス特性の劣化と誤解される場合があります。に
これらの影響要因はセンサーと直接関係しており、その他の要因はセンサー自体とはほとんど関係がないようですが、センサーの精度に影響を与えます。計量台の強度、基礎の堅さ、防塵・防水性など。ほこりや水など、メンテナンス状態が比較的良好であれば影響はありませんが、屋外で使用する場合は特に注意が必要です。主な原因は、センサーの表面が腐食し、接点が変化することです。特に付属品が付属している商品の場合、錆により付属品やセンサーが破損する恐れがあります。"さび"一緒に行うと精度に影響します。ゴミによるセンサー精度への影響については、経験豊富なユーザーであれば、シールカバーを付けたり、表面にバターを適量塗るなど、適切な保護措置を講じます。に
センサのヒステリシス特性に影響を与え、測定精度に影響を与えることは、長期間の使用においても安定した性能を確保するために、製造時および実際の使用においては可能な限り回避する必要があります。
