拡散シリコン圧力センサーのヒステリシス特性に影響を与える要因
マイクロサイバー NCS -PT105 ⅡS プロフィバス DP 圧力トランスミッターシリコン圧力センサー 高度なマイクロプロセッサ技術とデジタル静電容量測定技術を組み合わせることにより、細心の注意を払って設計されています。マイクロプロセッサの強力な機能と高速計算能力により、スマート、高精度、高信頼性、安定したゼロなどの優れた資格が得られます。液晶 モジュールは物理パラメータ (圧力、温度など) を表示できます。ゼロ点調整、レンジ設定などの機能をキー操作で実現でき、フィールドテストも容易です。
NCS -PT105 ⅡS プロフィバス DP 圧力伝送器 圧力、差圧、液面、流量、その他の工業パラメータを測定できます。石油、化学、電気、冶金産業などで広く使用できます。
半導体技術の発展に伴い、様々なテクニカル指標が普及シリコン圧力センサー ;は継続的に改善されてきましたが、拡散シリコン圧力センサーの固有の型にはまらない多値対応ヒステリシスと非線形特性により、測定精度が制限されていました。現在、センサーのヒステリシス特性に関する国内外の研究は比較的少ない。既存の文献は、ニューラル ネットワークを直接使用してそれらをモデル化することは不可能であることを証明しています。ほとんどの学者の仕事は、ヒステリシスの非線形性を一般的な非線形性として扱うことであり、その結果は補償を満足させることができません。精度要件。
拡散シリコン圧力センサーの動作原理は、半導体プレーン製造プロセスを使用して、シリコン カップの対応する表面に同じ抵抗を持つ 4 つの拡散抵抗を作成し、拡散抵抗を適切に接続してホイートストン ブリッジを形成することです。ダイヤフラムに圧力がかかると、作用によって変形すると、それに応じて電気ブリッジの抵抗が変化し、電気ブリッジが平衡状態を失うため、圧力変化に対応する電気信号が得られ、測定の目的圧力が達成されます。半導体材料の抵抗率は、加えられた力によって変化します。これがピエゾ抵抗効果です。
1.原材料
あらゆる種類の半導体材料は、内部の組織構造が複雑であるため、外力によって加圧された後、小さな粒子間に微小な歪みが生じます。外力がなくなると微小ひずみは消えますが、必ずしも元の状態に戻るとは限りません。材料が異なればヒステリシス特性もまったく異なります。に
2. 設置条件
表面状態、取付トルク等が最大の影響因子です。また、表面状態、接触面積、取付トルク、ボルト強度、座面硬度など、圧力センサの使用現場での取付条件を指します。これらの影響要因は、センサのヒステリシス特性の劣化と誤解されることがあります。に
これらの影響因子はセンサーと直接接触しており、他のいくつかの因子はセンサー自体とはほとんど関係がないように見えますが、センサーの精度に影響を与えます。計量台の強度、土台の硬さ、防塵・防水など。これらの 2 つの要因、ほこりと水は、比較的良好なメンテナンス条件下では影響を与えませんが、屋外で使用する場合は特に注意が必要です。主な原因は、センサーの表面が腐食し、接触点が変化することです。特に付属品を含む製品の場合、サビにより付属品やセンサーが"さび"一緒に、精度に影響します。ほこりがセンサーの精度に与える影響については、経験豊富なユーザーは、密閉カバーを追加したり、表面に適切な量のバターを塗布したりするなど、適切な保護対策を講じます。に
センサーのヒステリシス特性に影響を与え、それによって測定精度に影響を与えた後、長期使用の安定した性能を確保するために、製造および実際の使用の過程で可能な限り回避する必要があります。
