拡散シリコン圧力センサーのヒステリシス特性に影響を与える要因
MicrocyberのNCS-PT105ⅡSシリーズインテリジェント圧力トランスミッターは、高度で成熟した信頼性の高いピエゾ抵抗シリコン圧力センサーを採用し、高度なマイクロプロセッサ技術とデジタル静電容量測定技術を組み合わせて慎重に設計されています。内蔵マイクロプロセッサの強力な機能と高速動作能力により、送信機はインテリジェンス、高精度、高信頼性、安定したゼロ点などの優れた品質を備えています。 LCDモジュールは、圧力、温度、電流などのさまざまな物理量を表示できます。ゼロマイグレーションやレンジ設定などの多彩な機能をキー操作で実現でき、現場でのデバッグも容易です。
NCSC の-PT105ⅡSシリーズインテリジェント圧力トランスミッターハート、FF、PAプロトコルをサポートし、圧力、差圧、液面、流量、その他の工業パラメータを測定でき、石油、化学、電力、冶金およびその他の業界で広く使用できます。
半導体技術の発展に伴い、拡散シリコン圧力センサの技術指標は常に向上していますが、従来にない多値の拡散シリコン圧力センサに固有のヒステリシス非線形特性により、測定精度が制限されます。現在、センサーのヒステリシス特性に関する国内外の研究は比較的少なく、文献ではニューラルネットワークを使用して直接モデル化できないことが証明されており、学者の研究のほとんどは一般的な非線形処理としてのヒステリシス非線形の研究であり、その結果補正精度の要件を満たせません。
拡散シリコン圧力センサーの動作原理は、同じ 4 つの拡散抵抗の抵抗値で作られたシリコン カップの対応する表面に半導体平面製造プロセスを使用し、拡散抵抗を適切に接続してホイストン ブリッジを形成することです。圧力の作用によりダイヤフラムが変形すると、それに応じてブリッジの抵抗が変化し、ブリッジが平衡を失い、圧力変化に対応する電気信号を取得して圧力の測定を行います。圧力測定。半導体材料の抵抗率は力に応じて変化します。これがピエゾ抵抗効果です。
圧力伝送器 取付方法
1.原材料
どのような種類の半導体材料であっても、その内部組織や構造は複雑な外力による圧力と微小な粒子の間に微小なひずみが発生し、外力がなくなると微小な歪みが生じます。・ひずみは消えても元の状態に戻るとは限らず、材質が異なればヒステリシス特性も全く異なります。
2.実装条件
表面状態や取り付けトルクなどが最も大きな影響要因となります。また、現場での使用における圧力センサーの設置条件も指します。表面状態、接触面積、取り付けトルク、ボルト強度、座面硬度などに影響します。これらの影響要因は、センサーのヒステリシス特性の劣化と誤解されることがあります。
これらの影響はセンサーに直接影響しますが、センサー自体とはほとんど関係がないと思われるが、センサーの精度に影響を与えるその他の要因もあります。このような要因の例としては、秤プラットフォームの強度、基礎の堅牢性、塵や水からの保護などが挙げられます。塵埃と水は、メンテナンス状態が良好であればセンサーに影響を与えることはありませんが、屋外で使用する場合は特別な注意が必要です。原因は主にセンサー表面の腐食によるもので、特に付属品を含む製品では接点が変化し、付属品やセンサーが錆びてしまいます。"さび"一緒になって精度に影響を与えます。ゴミによるセンサの精度への影響については、経験豊富なユーザーであれば、シールカバーを厚くしたり、表面に適量のグリスを塗布したりするなど、適切な保護措置を講じます。
圧力管接続の概略図
センサのヒステリシス特性に影響を与え、測定精度に影響を与えることは、長期間の安定した性能使用を確保するために、製造工程および実際の使用において可能な限り回避する必要があります。
